单向流洁净室气流组织的主要形式

根据洁净室内气流的流动方向，单向流洁净室的气流组织形式可以分为垂直单向流气流组织和水平单向流气流组织两大类，每种类型又有多种形式。

1、垂直单向流洁净室
（1）垂直单向流满布过滤器，格栅回风。其特点是可以获得均匀向下的单向平行气流，自净能力强，能够达到高的洁净度级别。在洁净室内，工艺设备可以任意布置，可以简化人身净化设施，例如可以不设置吹淋室。但是这种洁净室的顶棚结构复杂，造价和维护费用高，过滤器堵漏比较困难。
（2）垂直单向流满布孔板，格栅回风。垂直单向流的主要缺点是造价高，其重要原因之一
是采用了顶棚满布空气过滤器。顶棚满布空气过滤器的作用是分布空气和过滤微粒。为了使气流均匀和顶棚美观，空气过滤器下面设有阻尼层。为了降低洁净室的造价，可以将空气过滤器布置在两侧，顶棚满布孔板，起到使气流均匀的作用。但是侧布空气过滤器不容易满足风量的要求，因此这种方式可以应用于洁净面积较小、风量不大的洁净室。
（3）垂直单向流满布阻尼层，格栅回风。侧布空气过滤器面积不容易满足风量的要求，特别是不容易满足大于80%额定风量的要求。空气过能器侧布时，采用金属孔板作为阻尼层分布空气。阳尼层的作用是要保证其下方为均匀的平行单向流，因此孔板的开孔率应在60%以上。阻尼层不能用易含尘或本身易带尘的材料，如一般无纺布。除金属孔板外，也可用尼龙纱等透气性好的材料做阻尼层。例如，可将尼龙纱绷紧在框架上，然后将框架放在轻型金属材料制作的顶棚骨架上，安装拆卸都很方便。由于这些材料阻力小，其与空气过健器之间不能紧密接触，因此在空气过滤器的内表面上容易积尘。
（4）垂直单向流两侧下回风，过滤器送风。垂直单向流洁净室造价高的另一个重要原因是使用了格栅地板，这种地板一般用铸铝、塑料、钢材等制作，材料价格比较高。
（5）垂直单向流两侧下回风，孔板送风。空气过滤器侧布，两侧下回风洁净室与典型的垂直单向流相比较，从顶棚和地面两个方面降低了洁净室的造价。
（6）垂直单向流两侧下回风，阻尼层送风。这是为了降低洁净室的造价，采取的另一种对满布空气过滤器送风，地板回风方式的改进方法。
（7）垂直单向流周边压出式回风，满布过滤器送风。是简易的垂直单向流洁净室，气流平行性不如两侧下回风式，压出的气流有利于所在环境洁净度的提高。
（8）无气幕局部垂直单向流。只在需要平行流的地区形成局部单向流，投资大为减少。
（9）有围挡的局部垂直单向流。可延伸垂直单向流的有效长度，相当于加宽了进风口或缩短了送风口至工作区的距离。

2、水平单向流洁净室
水平单向流洁净室根据送、回风口的相互关系和气流方向，一般可分为直回式、敞开式或隧道式、一侧回风式、双侧回风式、双层壁双侧回风式、上回风式、对送式等不同形式。
（1）水平单向流直回式。该种形式是典型的水平单向流洁净室。送风墙满布空气过滤器水平送风，全墙面回风。这种洁净室的回风墙一般安装中效过滤器。但是对于某些用途的洁净室(例如制药用洁净室、细菌培养用洁净室等)，为了避免室内操作过程发生的特殊微粒污染管道系统，或者为了收集这种微粒进行集中处理，则在全循环情况下，在回风墙上布置过滤器，而送风墙上布置中效过滤器。这种洁净室的造价低于垂直单向流洁净室。其特点是沿气流方向，流线略下倾，含尘浓度逐渐增高，洁净度级别逐渐下降，适用于工艺过程有多种洁净度要求的场所。由于表面沉降微粒少，比较适合于手术室。
（2）水平单向流隧道式。隧道式洁净室是为进一步提供工作区的洁净度，将生产区和通道分割开而建造的由洁净工作台组成的超级洁净室，它是在洁净工作台隧道的基础上改进发展而来的。它与水平单向流直回式气流组织的不同之处在于：
1）在布置空气过滤器的送风墙的对面没有回风墙，是向外敞开的。
2）没有管路循环空气，即将内部空气相向周围环境。
3）在这种形式中，不能采用正压法防止和排除污染，而需靠空气的速度防止污染的侵入。
4）这种形式内部的温，湿度宜与环境温、配度相同。

显然，这种单向流洁净隧道的送风方式，比单向流直回式洁净室造价低，面且便于移动，尤其适合一些大型设备装配后临时检修时采用。
单向流隧道式气流组织的回风方式有以下几种基本形式：
1）全侧墙回风式。该气流组织形式的室内回风穿过工作台进行循环，对工作台台面会造成污染，并且可能会在界面产生诱导气流，降低洁净工作台的洁净等级。
2）全地板回风式。该气流组织形式的洁净工作台位于洁净室内，洁净室的回风全部通过地板排出。这种回风方式可以避免回风对工作台产生污染和在界面产生诱导气流。但是由于隧道回风参与全室回风，容易导致回风速度不均匀而引起气流偏转现象，不容易维持洁净度级别。
3）侧墙和地板组合回风式。采用侧墙和地面组合回风方式的洁净隧道可以避免回风穿过工作台和室内回风与工作台共用回风道带来的弊端。
4）水平单向流一侧回风式。其主要特点是可缩短房间长度，回风气流可用于准备间。
5）水平单向流双侧回风式。其具有水平单向流一侧回风式气流组织的特点，并且气流更为均匀。
6）水平单向流上回风式。流线无下倾现场，可缩短房间长度。
7）水平单向流对送式。适宜于长距离净化房间，回风格栅可省去不用。