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ISO 14644洁净度等级划分标准

2019-08-23

ISO 14644洁净度等级划分标准如下:

ISO分级序数(N)  大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3) 
0.1μm  0.2μm  0.3μm  0.5μm  1μm  5μm 
ISO Class 1  10 2            
ISO Class 2  100 24 10 4      
ISO Class 3  1,000 237 102 35 8   
ISO Class 4  10,000 2,370 1,020 352 83   
ISO Class 5  100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO Class 6  1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO Class 7           352,000 83,200 2,930
ISO Class 8           3,520,000 832,000 29,300
ISO Class 9           35,200,000 8,320,000 293,000

 

 

我国GB50073-2001标准(工业洁净室)

空气洁净度等级(N)  大于或等于表中粒径的最大浓度限值(PC/m3) 
0.1μm  0.2μm  0.3μm  0.5μm  1μm  5μm 
1 10 2            
2 100 24 10 4      
3 1,000 237 102 35 8   
4(10级)  10,000 2,370 1,020 352 83   
5(100级)  100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
6(1000级)  1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
7(10000级)           352,000 83,200 2,930
8(100000级)           3,520,000 832,000 29,300
9          35,200,000 8,320,000 293,000

 

 

美联邦209E标准(工业洁净室)

等级名称   等级限值
0.1μm  0.2μm  0.3μm  0.5μm  5μm 
容积单位  容积单位  容积单位  容积单位  容积单位 
国际单位  英制  m3  Ft3  m3  Ft3  m3  Ft3  m3  Ft3  m3  Ft3 
单位 
M1.0     350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10 0.283
M1.5  1 1240 35 265 7.5 106 3 35.3 1
M2.0     3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83
M2.5  10 12400 350 2650 75 1060 30 353 10
M3.0     35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3
M3.5  100 26500 750 10600 300 3530 100
M4.0     75700 2140 30900 875 10000 283
M4.5  1000 35300 1000 247 7
M5.0     100000 2830 618 17.5
M5.5  10000 353000 10000 2470 70
M6.0     1000000 28300 6180 175
M6.5  100000 3530000 100000 24700 700
M7.0                       10000000 283000 61800 1750

 

 

ISO 14644与各国标准的比较表:

国际标准
ISO-14644 
中国标准
GB 50073 
美国标准
FS 209E 
俄国标准
TOCT 50766  
日本标准 德国标准 
P0 
1 1 P1  1 1
2 2 P2  2 2
3 3 M1.5  P3  3 3
4 4 M2.5  P4  4 4
5 5 M3.5  P5  5 5
6 6 M4.5  P6  6 6
7 7 M5.5  P7  7 7
8 8 M6.5  P8  8 8
9 9 P9  9

13925221060

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