ISO 14644洁净度等级划分标准

ISO 14644洁净度等级划分标准如下：

ISO分级序数（N）	大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m3)
	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1,000	237	102	35	8
ISO Class 4	10,000	2,370	1,020	352	83
ISO Class 5	100,000	23,700	10,200	3,520	832	29
ISO Class 6	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293
ISO Class 7				352,000	83,200	2,930
ISO Class 8				3,520,000	832,000	29,300
ISO Class 9				35,200,000	8,320,000	293,000

 

 

我国GB50073-2001标准（工业洁净室）

空气洁净度等级（N）	大于或等于表中粒径的最大浓度限值（PC/m3）
	0．1μm	0．2μm	0．3μm	0．5μm	1μm	5μm
1	10	2
2	100	24	10	4
3	1,000	237	102	35	8
4（10级）	10,000	2,370	1,020	352	83
5（100级）	100,000	23,700	10,200	3,520	832	29
6（1000级）	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293
7（10000级）				352,000	83,200	2,930
8（100000级）				3,520,000	832,000	29,300
9				35,200,000	8,320,000	293,000

 

 

美联邦209E标准（工业洁净室）

等级名称		等级限值
		0.1μm		0.2μm		0.3μm		0.5μm		5μm
		容积单位		容积单位		容积单位		容积单位		容积单位
国际单位	英制	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3	m3	Ft3
	单位
M1.0		350	9.91	75.7	2.14	30.9	0.875	10	0.283	-	-
M1.5	1	1240	35	265	7.5	106	3	35.3	1	-	-
M2.0		3500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	-	-
M2.5	10	12400	350	2650	75	1060	30	353	10	-	-
M3.0		35000	991	7570	214	3090	87.5	1000	28.3	-	-
M3.5	100	-	-	26500	750	10600	300	3530	100	-	-
M4.0		-	-	75700	2140	30900	875	10000	283	-	-
M4.5	1000	-	-	-	-	-	-	35300	1000	247	7
M5.0		-	-	-	-	-	-	100000	2830	618	17.5
M5.5	10000	-	-	-	-	-	-	353000	10000	2470	70
M6.0		-	-	-	-	-	-	1000000	28300	6180	175
M6.5	100000	-	-	-	-	-	-	3530000	100000	24700	700
M7.0								10000000	283000	61800	1750

 

 

ISO 14644与各国标准的比较表：

国际标准 ISO-14644	中国标准 GB 50073	美国标准 FS 209E	俄国标准 TOCT 50766	日本标准	德国标准
/	/	/	P0	/	/
1	1	/	P1	1	1
2	2	/	P2	2	2
3	3	M1.5	P3	3	3
4	4	M2.5	P4	4	4
5	5	M3.5	P5	5	5
6	6	M4.5	P6	6	6
7	7	M5.5	P7	7	7
8	8	M6.5	P8	8	8
9	9	/	P9	/	9